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DLP系列超純低壓氣動隔膜閥適用于半導體行業高純氣體低壓工況下的輸送，產品在采用緊湊設計的同時，實現高CV值。在高...
同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接頭一樣，因其超潔凈、高精度、真空高壓皆無泄漏及超長壽...
超純高壓手動隔膜閥 DHM
DHM系列超純高壓手動隔膜閥適用于半導體行業高純氣體高壓工況下的輸送，產品在采用緊湊設計的同時，實現高CV值。在高標準的潔凈室內生產，EP電解拋光處理內表面，粗糙度可達Ra≤5μin。每個產品都需要經過氦質譜泄漏測試，從而保障應用安全性。
材料
閥體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
閥座：PCTFE/PFA/PI
膜片：鈷基超級合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度：PCTFE: -10~80℃
PFA/PI: -10~150℃
最高使用壓力：3500psi（240Bar）
閥體內漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
閥體外漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
|
規格 |
1/4” |
3/8” |
1/2” |
|
CV值（流量系數） |
0.27 |
0.27 |
0.27 |
內表面粗糙度
BA級：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級：Ra≤5μin （0.13μm）
連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對焊管接頭
氣動操作選擇：常閉（NC）
尺寸僅供參考, 實物可能會變動。
編碼
兩端接頭
A(mm)
B(mm)
C(mm)
D(mm)
E(mm)
F(mm)
G(mm)
DHM04M
1/4"VCR公頭
60
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM04F
1/4"VCR母頭
76.6
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM04T
1/4"卡套接頭
49.7
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM06T
3/8"卡套接頭
51.7
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM04W
1/4"對焊
48.2
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM06W
3/8"對焊
48.2
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM08W
1/2"對焊
48.2
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
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滬公網安備案31011702890523號